EXIGENCE DE MULTIPLES OUTILS DE RODAGE ET DE POLISSAGE

Le Conseil national de recherches du Canada (CNRC) doit se procurer des outils de rodage et de polissage afin de soutenir la modernisation du Centre de fabrication pour la photonique du Canada (CFPC) en vue d’acquérir une capacité de traitement des plaquettes de 4 pouces. Les équipements de rodage et de polissage sont essentiels à la mission d’une fonderie photonique produisant des guides d’ondes, des modulateurs, des lasers, des filtres ou des circuits photoniques intégrés. Ces outils garantissent la planéité du substrat, la qualité de la surface et l’uniformité de l’épaisseur, autant de facteurs qui influent directement sur les performances optiques, l’efficacité de couplage et le rendement des dispositifs. Le CFPC doit mettre à niveau ses outils de rodage et de polissage vieillissants, puisque ceux-ci contribuent actuellement aux risques de fabrication en matière de rendement, de performance optique, de stabilité des processus et de débit. Le remplacement des outils vieillissants est essentiel pour maintenir une capacité de qualité fonderie, appuyer les programmes de la clientèle et prévenir les interruptions de production à mesure que le CFPC évolue vers une capacité de traitement de plaquettes de 4 pouces. Le CFPC requiert l’achat de : o Trois (3) systèmes modulaires de collage de plaquettes o Un (1) système de rodage et de polissage à stations multiples LP70 o Un (1) gabarit de polissage de précision PP6GT avec adaptateur sous vide o Une (1) jauge de mesure par contact CG10 o Un (1) système de nettoyage aux vapeurs de solvant En vue de renforcer la filière canadienne de l’innovation et de la commercialisation dans le domaine des composés semi-conducteurs, le CNRC investit actuellement dans les infrastructures de fabrication de semi-conducteurs ainsi que dans les capacités de recherche connexes. Dans le cadre de cette initiative, le Centre de fabrication pour la photonique du Canada (CFPC) effectue une transition pour devenir une fonderie photonique de traitement de plaquettes de 4 pouces, ce qui implique notamment la modernisation de ses équipements de rodage et de polissage vieillissants. Ces améliorations permettront au CFPC de fournir des dispositifs photoniques présentant une variabilité rigoureusement contrôlée de leurs paramètres critiques (rugosité, épaisseur, planéité, etc.) et des spécifications de tolérance plus strictes (polissage des facettes, surfaces de collage à haute planéité), tout en réduisant les coûts de maintenance et les temps d’arrêt.