Réacteur multi-sources à plasmas froids avec diagnostics in-plasma destiné à la synthèse, à la modification et à la gravure de matériaux et de nanomatériaux | Contrat gouvernemental · CanPursue
Réacteur multi-sources à plasmas froids avec diagnostics in-plasma destiné à la synthèse, à la modification et à la gravure de matériaux et de nanomatériaux